陸媒稱：中國推出首款國產電子束蝕刻機「羲之」
過去一段時間，中國晶圓代工廠與科技製造商無法取得極紫外光（EUV）蝕刻機，是中國在晶片競賽中落後的主要原因。不過現在據中國媒體《杭州日報》報導，中國即將交付首款國產、可商業使用的電子束蝕刻工具，這標誌著中國在晶片製造能力上邁出新的一步，也朝技術自立的方向前進。
這台中國首部電子束光刻機命名為「羲之」，取自書法家「王羲之」之名；這部電子束蝕刻機是由浙江大學餘杭量子研究院團隊研發完成，目前進入應用測試階段，號稱精度可達國際主流水準，為量子晶片等先進半導體技術的研發提供關鍵支撐。
據報導，「羲之」光刻機外觀酷似大型鋼櫃，透過聚焦電子束「手寫」電路於矽基晶圓上，具備線寬 8 奈米、定位精度 0.6 奈米的能力，無需掩膜版即可直接修改設計，特別適合於晶片開發初期的反覆調整與驗證。該裝置被形容為「能在髮絲上雕刻城市地圖的奈米神筆」，展現其在微影製程中的精密表現。
為何取名「羲之」？是象徵以電子束為「筆」，在晶片上進行高精度電路書寫。報導指出，這項設備的推出，是浙江大學與地方科創基地合作成果轉化的一大里程碑。報導引述研發團隊表示，產品已正式投入市場，並與多家企業與研究機構洽談合作。
報導也提到，受制於美國與其盟國的出口管制政策，包括中國科學技術大學、之江實驗室等國內頂尖研究機構長期無法取得相關高階蝕刻設備。而「羲之」的推出，有望打破長期受制於人、設備受限的局面，提升中國在先進製程自主研發方面的戰略能力。
除了性能達標外，「羲之」價格亦低於國際進口設備，為中國境內成本敏感的研究單位與新創企業提供更多彈性空間。報導指出，目前已有多方對該設備表達合作意願，市場潛力可期。
《杭州日報》進一步指出，「羲之」的誕生並非孤例，而是浙江省近年推動「科技創新」與「產業創新」雙軌融合政策下的具體成果之一。浙江大學與餘杭區合作，透過「技術需求清單」、「教授揭榜攻關」與「全流程陪跑」的模式，打造從實驗室樣品到市場化量產的快速轉化機制，加速科研成果商品化。
目前浙江大學校友企業總部經濟園已成為該類成果轉化的示範基地之一，位於城西科創大走廊的多個實驗室與企業工作站也同步推動此類「前一公里」轉化模式。報導指出，接下來當地將持續深化「兩新融合」，推動硬科技突破與落地應用，強化中國在高科技裝備領域的自主化布局。
（首圖來源：shutterstock）
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