〈SEMICON〉山太士推FOPLP新材料 助攻晶圓產出大增4倍
大尺寸面板級封裝勢在必行,山太士 (3595-TW) 今 (10) 日展示 TBDB 新材料,應用於雙面 RDL 線路玻璃基板先晶片製程。董事長吳學宗指出,新材料可大幅簡化製程流程並提升產能,有助晶圓每小時產出從 2 至 3 片提升至 10 至 15 片,產出效率大增 4 倍,大搶先進封裝商機。
山太士指出,現行晶片製程需先塗佈雷射解離膠,經兩次烘烤後再塗黏著膠,並再次烘烤完成,最後才能進行晶片貼附。對於大型玻璃基板,不僅容易出現塗佈不均勻的問題,也因多次烘烤導致耗能高、製程時間冗長,使得每小時產出僅約 2 至 3 片晶圓。
山太士此次推出的新一代材料,則大幅簡化流程,只需進行貼合與植晶兩步驟,即可完成所有製程,不僅縮短烘烤時間,達成節能效果,同時設備面積需求也能縮小。
山太士表示,傳統 TBDB 製程每小時僅能產出 2 至 3 片晶圓,在新材料應用下,產能可望提升至 10 至 15 片,意味著 FOPLP 廠商可在降低資本投資的同時,解決大面積塗佈均勻性不足的痛點。
除了此次發表的新型材料,山太士也同步展示具備抗翹曲特性的材料產品,進一步強化大面積玻璃基板應用的穩定性。公司強調,新產品具備簡化工藝、高效與節能的優勢,將有助 FOPLP 量產時程加速推進。
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