家碩推EUV充氣製程新產品 明年導入客戶端
家登 (3680-TW) 旗下家碩 (6953-TW) 今 (10) 日指出，將流量自動化量測技術應用於 EUV 與高階光罩充氣製程，可優化充氣氣體使用量，預計明年導入客戶端產線使用，南科三期擴廠計畫也正興建中，預計 2027 年加入營運。
家碩今日公告 8 月營收 1.12 億元，月減 7.72%，年增 6.4%，累計前 8 月營收 8.26 億元，年減 8.62%。受惠 2 奈米量產與 EUV 光罩充氣需求推動，南科短期產能擴充到位，優先支援 EUV 光罩充氣相關機台出貨，並預留產能提供黃光與先進封裝應用生產，對全年營運展望仍審慎樂觀。
家碩專注微影製程傳載自動化設備，在光罩清洗、交換、儲存與檢查到充氣技術深耕多年，已獲多家國際大廠認證採用。家碩表示，今年持續佈局海外，近期在美、日地區 EUV 光罩傳載與光罩檢測設備獲得客戶青睞，可望打入日本半導體供應鏈。
營運與研發策略方面，家碩聚焦先進製程設備開發新應用，拓展光罩檢測暨交換複合機台至黃光製程應用，並將光罩清洗與檢測技術延伸至先進封裝製程應用。且因應半導體產業發展兼顧環境永續發展，家碩與客戶合作創新與改良充氣技術，有助優化充氣氣體使用量，並將流量自動化量測技術應用於 EUV 與高階光罩充氣製程，預計明年導入客戶端產線使用。
展望中長期產能規畫，家碩南科三期擴廠計畫已於去年啟動，預計 2027 年加入營運，將推動技術升級和生產能力擴展的重要一步，也是對未來市場前景的積極應對。