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理財

【台積電起家厝2-2】晶圓二廠見證咆哮90年代!在全球半導體擁兩大創舉

太報

更新於 10小時前 • 發布於 2小時前 • 戴嘉芬
晶圓二廠自1990年開始運作,是第一座由台積電團隊自己規劃設計的工廠。取自TSMC

台積電晶圓二廠1988年4月在新竹科學園區動土,1990年開始運作,從此開啟了「咆哮九〇年代」。創辦人張忠謀在《自傳下冊》寫道,使台積電能夠咆哮的原因之一,是二廠的創新,其中包括兩個相當重要創新式的決定。

第一個決定是啟用矽谷Asyst公司發明的SMIF(Standard Mechanical Interface;袖珍潔淨箱)。因為半導體製程必須在無塵環境中進行,倘若整座工廠都是潔淨式,那排氣系統將會十分昂貴,運作時也會較為耗電。SMIF是一個袖珍潔淨箱,既可與生產機器連接,同時也能節省排氣系統的資本支出和電力費用。

張忠謀曾致電英特爾友人,詢問對方是否知曉SMIF?對方回答,「SMIF很有希望,但英特爾是大公司,禁不起大規模使用SMIF的風險,台積電是剛開始經營的小公司,也許禁得起風險。」

這句話讓張忠謀提高了冒險意願。他認為「小公司要趕上大公司,必須要在對的地方做大公司不願或不敢做的事。我希望SMIF是一個對的地方。」

後來,台積電決定採用SMIF。而且,台積電二廠是世界上第一家在量產環境內使用SMIF的工廠;之後台積電所有晶圓廠都採用SMIF,同業也陸續採用。

由矽谷Asyst公司發明的SMIF袖珍潔淨箱,當時並未獲得英特爾等大廠的青睞。翻攝自Chip History

第二個決定是採用艾司摩爾(ASML)的曝光機,這種曝光機在晶圓生產線上,是所有設備中最昂貴的。而在那個年代,「日本Nikon、佳能幾乎佔有全世界曝光機市場。」張寫道。「艾司摩爾卻是一家新公司。巧合的是,它和台積電一樣,也是飛利浦投資的公司。」

經過新任總經理魏謀和曾繁城詳細研究,認為艾司摩爾機器有技術優點。唯一的問題是「沒人用過艾司摩爾的曝光機,台積電會是第一家!」確實有相當風險。張忠謀提到,自己的想法和SMIF一樣,小公司如要追上大公司必須要冒些險。

「此後三十幾年,艾司摩爾一直是台積電最主要且最重要的曝光機供應商;同時,艾司摩爾的技術也一直領先佳能與Nikon。」張寫道,台積電與艾司摩爾幾乎同時誕生,一起成長,一直都以夥伴關係相處

艾司摩爾誕生於1984年,主要提供極紫外曝光機(EUV)給晶圓製造廠,圖為該公司荷蘭總部。彭博新聞

截至8/15止最新數字,艾司摩爾公司市值來到2969.4億美元,台積電市值則為1.249兆美元,已是艾司摩爾的4倍以上。而如今的英特爾,公司市值僅1044.35億美元,台積電市值是英特爾的12倍左右。時隔35年,到底哪家是小公司,哪家才是大公司,自然不言可喻。

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