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黃仁勳估中國 2030 年成功自研先進曝光機,外媒揭目前技術落差

科技新報

更新於 09月17日10:54 • 發布於 09月17日10:47

中國近年積極發展半導體國產化,輝達(NVIDIA)執行長黃仁勳認為,中國只需要再花三、四年,就能開發出自己的先進曝光系統。

外媒Tom’s Hardware 報導指出,黃仁勳接受《All-In Podcast》採訪時表示,「他們(中國)會在2030 年前做到。2030 年就在眼前。中國很擅長大規模生產。這只是時間問題……所以兩、三年只是轉眼之間,根本算不了什麼。因此對他們而言,他們其實已經做到了。」

雖然黃仁勳整體看好中國科技發展,但報導認為,他對曝光設備可能過於樂觀。目前中國主要的曝光設備生產商上海微電子(SMEE),可量產193 奈米ArF 乾式微影機,可用於製造90 奈米級製程技術的晶片。該公司已開發可支援28 奈米製程的ArF 浸潤式微影機,但目前沒證據顯示設備已進入量產,並用於高產量的晶片製造。

先前市場消息傳出,中國即將量產DUV,一間獲得中國政府支持的上海公司計劃在今年內生產5 台DUV,並在2027 年生產約20 台DUV,隨後路透社直指該公司為上海愛晟納(Aishengna),成立於2023 年8 月,資本額為70 億人民幣。報導認為,雖然該設備可能具備28 奈米級製程技術進行晶片曝光的能力,但量產前仍需要經過廣泛的認證與驗證,預期導入還要數年時間。

報導認為,假設第一批曝光機能在2026 年交付給中國晶片製造商,要在2028~2029 年之前廣泛投產似乎不太可能。整體來說,2030 年前實現ArF 浸潤式曝光技術的技術平等,可能性相當低。

而在EUV 設備則是更難追上,雖然有消息傳出中國科學家已成功開發雷射產生電漿(LPP)光源,可產生所需的13.5 奈米波長光,但中國目前要自行組裝出一台EUV 曝光機原型機都還有段距離。

(首圖來源:shutterstock)

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