台積電、三星日本供應商廠房失火停工 外界憂「半導體斷鏈」
日本關東電化位於群馬縣的工廠7日傳出火災，導致1死1傷。日媒指出，此事件讓日本國內半導體工廠面臨減產風險，鎧俠控股（Kioxia Holdings）、索尼集團、台積電（TSMC）等企業，正忙於尋找替代來源，以取得半導體製造清洗過程中使用的三氟化氮（NF₃），取代部分原本向關東電化採購的數量。日本經濟產業省也展開行動，打算透過擴大自韓國進口來應對。
綜合《日刊工業新聞》與《彭博社》報導，關東電化工業位於群馬縣澀川市的澀川工廠7日發生火災。根據該公司發布的消息，火災發生在三氟化氮製造設備內，造成1名員工死亡、1人受傷。兩條生產線中的其中一條受損，已依照主管機關的指示停止運轉。
三氟化氮被用於半導體製造的蝕刻與成膜製程中，用來清洗稱為腔體（Chamber）的容器。日本國內僅有關東電化和三井化學在生產，關東電化發言人曾表示，該公司在日本國內的生產市佔率高達9成以上。
報導指出，鎧俠控股與索尼集團除了從關東電化採購外，也有採用韓國產的三氟化氮。台積電熊本工廠也同樣從包含關東電化在內的多家供應商購買。此外，關東電化也有供貨給韓國三星電子與美國美光科技等企業。
外界認為，關東電化至少需要數個月來修復受損設備和恢復出貨。此外，由三氟化氮製成的六氟化鎢（WF₆）同樣可能出現供應不穩的情況。六氟化鎢是半導體製造中金屬布線層形成所必需的氣體。
《彭博社》指出，岩井 COSMO證券高級分析師齋藤和嘉警告，若影響持續時間過長，半導體製造商恐不得不降低工廠稼動率。尤其在人工智慧（AI）需求推動下，原本就維持高稼動率的業者，緊迫感將更為強烈。
另一方面，鎧俠控股的公關負責人表示，由於公司從多家廠商採購，且擁有庫存，短期內不會影響生產，估計不會影響公司7月～9月期的業績預測。索尼集團的半導體子公司「Sony Semiconductor Solutions」公關負責人則表示，採購來源不予公開，因此不作評論。
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